典型应用:激光雷达、光学稳像、激光卫星通信、激光驾束扫描、超分辨率光学成像。
特点:四根压电陶瓷作用于同一运动平台,X、Y轴具有相同的转动惯量,可实现快速、高动态和高精密运动控制,在较大温差下可以实现很高的定位稳定性。
高速偏摆镜采用压电陶瓷驱动,内部使用无回差柔性铰链并联导向结构,采用有限方针分析优化柔性铰链结构,紧凑的差分并联结构柔性导向系统具有超高的导向精度,且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点。高速偏摆镜内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈,确保了高速偏摆镜具有极佳的运动控制精度,定位精度,分辨率和稳定性可以达到纳米量级,紧凑型设计,可以更好的集成于光学系统。