典型应用:显微成像、光学对准、光栅刻写、半导体加工、生物材料分析。
纳米位移系统的应用越来越广泛,从原子力显微镜、精密光学设备、半导体设备到各种高新技术行业。纳米位移系统能够产生和测量优于纳米(nm)的位移,整个系统包含3部分:纳米位移台、控制器和控制软件。