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ES-50PM升降台

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ES-50PM压电升降台可用于空间有限的条件下。 ES-50PM升降台由专利多相压电电机驱动,并配有两个机械限位开关。三个十字滚子轴承确保光滑高刚度的动作。ES-50PM允许非常刚性的XZXYZ设置,与PPS-60,VT-50PPX-50系列组合时,需要适配器支架的线性阶段。 可在真空(10-6)下运行的版本。 ES-50PMMMC-103MMC-110控制器兼容。

主要特征

1.行程范围10 mm

2.十字滚子轴承

3.1 nm闭环分辨率

4.集成机械限位开关

5.负载能力高达1公斤

6.真空版本可用