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PPX-32压电驱动平台

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PPX-32为长行程XY压电平台,高度14mm。四个预装滚珠保证平稳和稳定运动,负载10 N。利用一个多相位的压电马达实现高速(> 2 mm / s)和高推力(> 2 N)。PPX-32可用于线性开环或直线编码器。可实现闭环10纳米的分辨率。适用真空(10:9 mbar)环境。PPX-32兼容mmc - 100和mmc - 110控制器。

行程:18x18mm

最大负载:1kg

最大速度:2 mm/s

分辨率:1nm

双向可重复性:+/- 50nm

单向可重复性:50nm

编码器选择:模拟信号,数字信号