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NS-ZRXY-01高分辨率移相器

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典型应用:对焦、白光干涉、探针校准、表面扫描、物镜调整、光学移相。

纳米位移系统的应用越来越广泛,从原子力显微镜、精密光学设备、半导体设备到各种高新技术行业。纳米位移系统能够产生和测量优于纳米(nm)的位移,整个系统包含3部分:纳米位移台、控制器和控制软件